Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
2021.07.05 14:38
안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.
한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.
Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.
-> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.
RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서
나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.
그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.
감사합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75427 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56479 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67558 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89368 |
| 96 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22116 |
| 95 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21096 |
| 94 |
전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 21006 |
| 93 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1] | 20239 |
| 92 | 플라즈마 matching | 20041 |
| 91 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19851 |
| 90 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19771 |
| 89 | MFC | 19275 |
| 88 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19275 |
| 87 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19120 |
| 86 | 최적의 펌프는? | 18484 |
| 85 | Faraday shielding & Screening effect | 18279 |
| 84 | electrode gap | 17861 |
| 83 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17233 |
| 82 | Virtual Matchng | 16808 |
| 81 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
| 16749 |
| 80 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14059 |
| 79 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13142 |
| 78 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12760 |
| 77 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9636 |