공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[98]
| 3623 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 15307 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 50563 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 62969 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[2]
| 81978 |
64 |
ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 9064 |
63 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7068 |
62 |
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
| 6883 |
61 |
ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 6474 |
60 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6151 |
59 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 5651 |
58 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 5613 |
57 |
Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 5559 |
56 |
RF calibration에 대해 질문드립니다.
| 5254 |
55 |
안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 4953 |
54 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 4358 |
53 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 3766 |
52 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
| 3718 |
51 |
matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 2956 |
50 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 2704 |
49 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2324 |
48 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2065 |
47 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2041 |
46 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2001 |
45 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1900 |