번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48709
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50779
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 57199
45 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] new 6067
44 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] new 5939
43 RF calibration에 대해 질문드립니다. new 4840
42 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] new 4420
41 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] new 4216
40 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] new 3721
39 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. new 3311
38 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 new 3180
37 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] new 2858
36 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. newfile 2783
35 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] new 2564
34 ESC Cooling gas 관련 [1] new 1659
33 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] new 1535
32 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] new 1454
31 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] new 1421
30 임피던스 매칭회로 [1] newfile 1367
29 chamber impedance [1] new 1302
28 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] new 1278
27 Si Wafer Broken [2] new 1260
26 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] new 1238
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