번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48518
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49110
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 54811
36 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 5947
35 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 5883
34 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4741
33 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 4119
32 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4019
31 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 2891
30 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 2370
29 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 2287
28 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 2287
27 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 2036
26 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1485
25 ESC Cooling gas 관련 [1] 1367
24 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1329
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1186
22 chamber impedance [1] 1131
21 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1097
20 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1089
19 Si Wafer Broken [1] 1080
18 임피던스 매칭회로 [1] file 1065
17 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 889

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