ESC ESC Cooling gas 관련

2019.02.21 19:22

jake88 조회 수:2930

Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다

비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5595
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16870
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51346
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64203
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84177
69 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9194
68 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7189
67 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7173
66 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6566
65 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6218
64 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6045
63 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5935
62 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5701
61 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5362
60 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5138
59 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4612
58 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4254
57 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3837
56 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3654
» ESC Cooling gas 관련 [1] 2930
54 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2671
53 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2250
52 임피던스 매칭회로 [1] file 2209
51 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2197
50 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2186

Boards


XE Login