번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 87
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48826
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 54221
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 62619
29 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 1240
28 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1106
27 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1036
26 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1001
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1000
24 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 897
23 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 879
22 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 878
21 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 870
20 MATCHER 발열 문제 [3] 868
19 Impedence 위상관련 문의.. [1] 860
18 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 817
17 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 792
16 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 725
15 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 659
14 고진공 만드는방법. [1] 608
13 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 505
12 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 494
11 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 392
10 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 355
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