공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 87 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 48826 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 54221 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[1]
| 62619 |
29 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 1240 |
28 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 1106 |
27 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 1036 |
26 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 1001 |
25 |
matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 1000 |
24 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 897 |
23 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 879 |
22 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 878 |
21 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 870 |
20 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 868 |
19 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 860 |
18 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 817 |
17 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 792 |
16 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 725 |
15 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 659 |
14 |
고진공 만드는방법.
[1] | 608 |
13 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 505 |
12 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 494 |
11 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
[1] | 392 |
10 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 355 |