번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48709
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50778
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 57199
25 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] new 1056
24 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] new 1042
23 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] new 858
22 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] new 855
21 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] new 845
20 MATCHER 발열 문제 [3] new 827
19 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] new 824
18 Impedence 위상관련 문의.. [1] new 790
17 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] new 767
16 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] new 748
15 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] new 739
14 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] new 679
13 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] new 674
12 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] newfile 607
11 고진공 만드는방법. [1] new 578
10 대학원 진학 질문 있습니다. [2] new 446
9 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] new 353
8 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] newfile 332
7 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] new 327
6 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] new 299
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