번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101823
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24443
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61091
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73132
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105284
72 RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스] [2] 3967
71 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3935
70 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance] [3] 3706
69 임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching] [1] file 3288
68 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring] [2] 3173
67 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 3114
66 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2879
65 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 2867
64 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스] [1] file 2863
63 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간] [2] 2855
62 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAT <-> STAGE HEATER 간 GAP과 DEPO 막질의 THK와의 연관성…. [Plasma property와 process control] [1] 2793
61 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2775
60 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load] [1] 2707
59 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화] [1] 2698
58 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2668
57 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 2546
56 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2435
55 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2250
54 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2152
53 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap] [1] 2109

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