|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[330]
| 101823 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 24443 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 61091 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 73132 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 105284 |
|
72 |
RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스]
[2] | 3967 |
|
71 |
ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어]
[1] | 3935 |
|
70 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance]
[3] | 3706 |
|
69 |
임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching]
[1]  | 3288 |
|
68 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring]
[2] | 3173 |
|
67 |
SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리]
[2] | 3114 |
|
66 |
Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
[1] | 2879 |
|
65 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절]
[1] | 2867 |
|
64 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스]
[1] | 2863 |
|
63 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 2855 |
|
62 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAT <-> STAGE HEATER 간 GAP과 DEPO 막질의 THK와의 연관성…. [Plasma property와 process control]
[1] | 2793 |
|
61 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property]
[4] | 2775 |
|
60 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load]
[1] | 2707 |
|
59 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화]
[1] | 2698 |
|
58 |
매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 2668 |
|
57 |
analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
[1] | 2546 |
|
56 |
chamber impedance [장비 임피던스 데이터]
[1] | 2435 |
|
55 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 2250 |
|
54 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2152 |
|
53 |
CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap]
[1] | 2109 |
