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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5572
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84146
49 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2042
48 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2012
47 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1996
46 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 1948
45 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1933
44 Si Wafer Broken [2] 1900
43 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1828
42 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1809
41 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1752
40 chamber impedance [1] 1714
39 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1709
38 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1649
37 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1640
36 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1589
35 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1575
34 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1292
33 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1213
32 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1195
31 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1179
30 MATCHER 발열 문제 [3] 1170

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