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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2175 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건]
[1] | 2158 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 2067 |
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반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]
[1] | 1973 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]
[1]  | 1972 |
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알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터]
[1] | 1882 |
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1852 |
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MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 1808 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning]
[1] | 1792 |
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Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1780 |
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Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어]
[1] | 1745 |
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1693 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1] | 1661 |
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
[1] | 1658 |
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1522 |
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Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1496 |
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대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계]
[2] | 1479 |
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1445 |
