이은석 wrote :
안녕하십니까? 저는 이제 막 플라즈마에 대해 공부하기 시작한 코팅업체의 초보연구원입니다. 제가 이렇게 방명록을 방문한 이유는 저온 플라즈마 반응에서 유기중합막을 이루는 단량체를 반응기내로 주입시켜주는 장치에 대하여 자세히 알고 싶어서 입니다. 주로 반응성 또는 비활성 가스를 MFC로 조절하여 주입하게 되는 것으로 알고 있는데 저희는 액상의 모노머도 사용할 수 있도록 장치를 꾸미려 하고 있습니다. 가능하면 견학도 해보고 싶고, 참고할만한 자료가 있는 곳을 좀 알려주시면 감사하겠습니다. 또한 초음파나 heating을 이용한 방법은 불가능한지요?
군산대학교 공과대학 재료공학과 주정훈 교수
저는 CVD가 전공은 아니지만, MFC 전문업체인 MKS(http://www.mksinst.com)의 홈페이지에 가면 direct liquid injection (DLI-25C)에 대한 자세한 안내가 나와있읍니다. 도움이 되시리라 생각됩니다. micropump, heated vaporiser, control electronics로 구성된 sub-system이라고 되어 있읍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76751 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92313 |
42 | 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] | 1600 |
41 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1522 |
40 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1519 |
39 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1464 |
38 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
37 | 알고싶습니다 [1] | 1459 |
36 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
35 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
34 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1424 |
33 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1325 |
32 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
31 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1228 |
30 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1161 |
29 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
28 | Plasma Arching [1] | 1052 |
27 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
26 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
25 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 960 |
24 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 885 |
23 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |