CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] 74881
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18735
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56223
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 87991
30 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1319
29 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1305
28 MATCHER 발열 문제 [3] 1292
27 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1269
26 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1206
» IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1135
24 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1130
23 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1115
22 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1063
21 알고싶습니다 [1] 1005
20 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 941
19 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 933
18 고진공 만드는방법. [1] 897
17 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 877
16 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 852
15 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 788
14 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 716
13 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 683
12 Plasma Arching [1] 654
11 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 600

Boards


XE Login