Matcher ICP 플라즈마 매칭 문의

2011.10.05 09:57

김동국 조회 수:21251

안녕하세요. 졸업을 압두고 있는 석사과정의 대학원생입니다.

 

다름이 아니라 졸업논문을 위해 실험하던중 icp플라즈마 매칭 관련 문의를 드릴것이 있어서 이렇게 글을 남깁니다.

 

진공 챔버 전단에 내경 100mm 길이 600mm의 석영관의 반응기가 설치 되어 있고(진공분위기를 위해 0.1Torr~ 0.4Torr)

 

ICP형상의 전극구조가 반응기 위에 코일 형식의 1/4inch 크기의 동파이로 감겨 있습니다.

 

전원공급기로는 RF전원으로 구동주파수 13.56MHz 출력임피던스 50 전력범위 1.6kw의 사양을 갖고 있습니다.

 

RF매칭 박스를 통해 나오는 전원케이블과 그라운드케이블을

 

전극 끝단에 물려있는 상태입니다.

 

바탕가스는 Ar 이 약 200sccm이 흐르고 있습니다.

 

이 시스템 상황에서 플라즈마가 발생이 안되고 있습니다.

 

전원공급기의 디스플레이에서

 

forward power와 reflected power 가 거의 같습니다.

 

전원공급기 업체 기술자 분이 오셔서 매칭 박스 안의 작은 소자 같은걸 교환해보거나

load indicate , tune indicate 를 조작하고

아무튼 해결을 못하고 있습니다.

 

저도 이쪽으로는 지식이 없어 어려움을 겪고 있습니다.

 

매칭 문제에 대해서 기술자분에게 조언을 해줄수 있는 부분이나

다른 도움이 될 수 있는 정보좀 부탁드리겠습니다.

 

감사합니다.

 

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