번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48709
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50779
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 57199
26 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) update 33736
25 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] new 32991
24 matching box에 관한 질문 [1] new 27113
23 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 update 26369
22 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 new 22744
21 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] update 22120
20 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] new 20319
19 플라즈마 matching update 18952
18 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] update 18672
17 Virtual Matchng update 16503
16 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] new 8541
15 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] new 6067
14 RF calibration에 대해 질문드립니다. new 4840
13 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] new 3721
12 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] new 2858
11 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] new 1535
10 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] new 1454
9 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] new 1422
8 임피던스 매칭회로 [1] newfile 1367
7 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] new 1278

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