번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48587
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49804
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55067
26 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 33633
25 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 32211
24 matching box에 관한 질문 [1] 26998
23 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26277
22 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22678
21 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22098
20 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 20259
19 플라즈마 matching 18872
18 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 18629
17 Virtual Matchng 16485
16 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8471
15 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 5992
14 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4782
13 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3262
12 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 2445
11 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1510
10 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1379
9 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1230
8 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1219
7 임피던스 매칭회로 [1] file 1212

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