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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
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32 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 40204
31 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34094
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29 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26678
28 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22930
27 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22235
26 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 20631
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24 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 18873
23 Virtual Matchng 16604
22 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8776
21 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6248
20 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5242
19 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4986
18 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 4451
17 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 2185
16 임피던스 매칭회로 [1] file 1760
15 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1648
14 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1601
13 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1465

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