Matcher Impedence 위상관련 문의..
2017.06.30 04:39
안녕하세요. 전에도 몇번 질문드렸었습니다만,, 반도체 관련회사에서 근무하고 있습니다.
RF (ICP)장비를 다루고 있는데 impedence 위상관련해서 문의 좀 드리려고 합니다.
impedence 매칭은 저항과 위상으로 조정하데..
공정 parameter (Ar pressure , AC power 등)의 변화로 위상이 변화할수 있을까요?
변화된다면 어떤 이유로 변화되는지 조금 자세하게 설명을 듣고 싶습니다..
그리고 정말 죄송한데 smith chart program 을 사용하고 싶은데..도움 받을 site가 있을까요?
검색해서 찾아봐도 알수 없는 site로 이동이 되서...찾기가 어렵습니다만..
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20847 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
| 22 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 2520 |
| 21 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2510 |
| 20 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2454 |
| 19 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 2013 |
| 18 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1993 |
| 17 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1960 |
| 16 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1668 |
| » | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1512 |
| 14 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1510 |
| 13 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1484 |
| 12 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1337 |
| 11 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1191 |
| 10 | Plasma Arching [1] | 1138 |
| 9 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1050 |
| 8 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 912 |
| 7 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 881 |
| 6 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 874 |
| 5 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] | 683 |
| 4 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 616 |
| 3 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 447 |
우리가 하나의 회로로 플라즈마를 놓는다면 capacitance (쉬스), diode (이온 전류), 및 저항 ( 총돌에 의한 에너지 전달: Ohmic heating 과 Stochastic heating) 값, 그리고 inductance (충돌로 인한 플라즈마 전류 위상차이)로 표현이 가능할 것입니다. 이를 종합해서 플라즈마 임피던스라 하고, 특히 RF 에 영향을 미치는 cap/inductance 항이 플라즈마 밀도와 온도 그리고, 충돌 함수이므로, 운전 전력과 압력에 따라서 matching position 이 바뀔 수 밖에 없겠습니다. 때로 연구자들은 회로 모델이라 부르는 해석 방법을 연구하기 합니다.