번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 72
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48822
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 54113
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 62553
18 esc란? 24344
17 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24334
16 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22508
15 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21446
14 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19461
13 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 6344
12 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 5963
11 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 3649
10 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 3600
9 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 3397
8 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3275
7 ESC Cooling gas 관련 [1] 1828
6 Si Wafer Broken [2] 1335
5 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1278
4 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1029
3 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 995
2 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 303
1 Article Generators as well as Exactly How They Can Aid You 7

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