ESC esc란?

2004.06.25 12:42

관리자 조회 수:27448 추천:302

질문 ::
ELECTROSTATIC CHUCK에 대해 알고 싶은데,자료를 보내주시면 감사하겠읍니다

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2800
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14011
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49942
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61886
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80590
» esc란? 27448
19 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24998
18 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22651
17 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21729
16 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19562
15 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 14725
14 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 11386
13 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7026
12 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6802
11 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6127
10 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4292
9 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3688
8 ESC Cooling gas 관련 [1] 2627
7 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1931
6 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1793
5 Si Wafer Broken [2] 1720
4 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1469
3 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1015
2 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 625
1 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 297
쓰기
태그

Boards

XE Login