ESC esc란?

2004.06.25 12:42

관리자 조회 수:28049 추천:302

질문 ::
ELECTROSTATIC CHUCK에 대해 알고 싶은데,자료를 보내주시면 감사하겠읍니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91547
» esc란? 28049
22 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26104
21 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22925
20 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22222
19 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19827
18 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16888
17 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14658
16 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8525
15 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7578
14 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6445
13 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5439
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4288
11 ESC Cooling gas 관련 [1] 3500
10 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3323
9 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2792
8 Si Wafer Broken [2] 2459
7 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1930
6 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1858
5 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1577
4 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1372

Boards


XE Login