번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48631
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55155
27 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 542
26 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 539
25 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 516
24 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 507
23 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 464
22 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 411
21 ICP 후 변색 질문 392
20 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 365
19 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 359
18 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 326
17 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 307
16 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 303
15 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 282
14 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 282
13 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 278
12 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 265
11 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 247
10 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 238
9 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 224
8 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 209

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