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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64498
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85112
54 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1352
53 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1306
52 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1288
51 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1264
50 Ar plasma power/time [1] 1239
49 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1237
48 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1174
47 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1153
46 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1148
45 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1070
44 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1050
43 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1018
42 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 996
41 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 947
40 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 943
39 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 926
38 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 925
37 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 914
36 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 879
35 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 866

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