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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
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39 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 710
38 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 707
37 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 682
36 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 660
35 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 659
34 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 644
33 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 629
32 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 625
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29 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 573
28 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 568
27 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 531
26 RF Sputtering Target Issue [2] file 531
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23 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 428
22 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 421
21 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 394
20 PECVD Uniformity [1] 393

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