안녕하세요

저는 직장인입니다

회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다

그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다

보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.

증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다

Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데

이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다

이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76438
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57071
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91344
40 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 712
39 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 708
38 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 682
37 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 662
36 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 660
35 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 645
34 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 633
33 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 630
32 Polymer Temp Etch [1] 610
31 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 586
30 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 575
29 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 572
28 RF Sputtering Target Issue [2] file 532
27 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 531
26 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 520
25 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 459
24 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 428
23 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 421
22 PECVD Uniformity [1] 399
21 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 394

Boards


XE Login