번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20846
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 498
31 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 462
30 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 451
29 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 447
28 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 445
27 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 422
26 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 408
25 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 405
24 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 370
23 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 340
22 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 337
21 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 329
20 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 317
19 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 280
18 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 279
17 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 276
16 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 268
15 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 232
14 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 231
13 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 215
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