|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[303]
| 78039 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20849 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57737 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 69253 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 93635 |
|
14 |
텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 405 |
|
13 |
RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 370 |
|
12 |
메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 340 |
|
11 |
RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 337 |
|
10 |
Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수]
[1] | 329 |
|
9 |
GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 279 |
|
8 |
플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성]
[1] | 276 |
|
7 |
공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
[1] | 148 |
|
6 |
Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포]
[1] | 137 |
|
5 |
자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리]
[1] | 106 |
|
4 |
Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length]
[1] | 85 |
|
3 |
플라즈마 식각 커스핑 식각량
| 77 |
|
2 |
가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해]
[1] | 58 |
|
1 |
ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각]
[1] | 45 |
