Deposition 플라즈마를 이용한 박막처리

2004.06.19 16:29

관리자 조회 수:18207 추천:293

  플라즈마를 이용한 박막처리는 오랜 역사를 갖고 있으며 실로 광범위하게 이용되고 있습니다. 특히 최근에는 환경 친화적이며 미세 구조처리가 가능하여 매우 각광을 받고 있습니다. 구체적으로 플라즈마 박막공정은 플라즈마 환경하에서 물질의 표면에 얇은 막을 쒸우는 것을 의미합니다. 반응기에 기체 및 박막 물질을 주입하고 이온화를 시켜서 플라즈마를 발생합니다. 따라서 반응기 내에는 많은 수의 이온과 전자들로 구성되어 있는 플라즈마와 미처 이온화가 일어나지 않은 중성 기체와 박막 입자들이 존재하게 됩니다. 박막 입자들이 처리 대상 표면에 침착하여 박막을 형성하게 되는데 이들 입자들의 활성화에 플라즈마 이온들이 사용되게 됩니다. 이런 과정을 거쳐서 박막이 형성되므로 플라즈마 성질을 잘 이용하면 박막의 특성도 향상되게 됩니다.

  물질 표면에 박막처리를 함으로써 물방울 형성을 제어하거나 향상시킬 수도 있습니다. 예를 들어 폴리머 계열은 물이 잘 맺히는데 만일 산소 플라즈마 처리를 하면 맺힌 물방울이 풀어지게 됩니다. 따라서 처리된 물질의 표면에는 물방울이 맺히지 않고 넓게 퍼지게 됩니다. 빛은 물방울을 통과하면서 난반사를 함으로 유리등의 표면에 물방울이 맺히게 되면 시야가 나빠지게 됩니다.
이렇게 물이 물질의 표면에서 물방울을 만드는 정도를 친수성과 소수성으로 표현하게 되는데, 물질표면의 친수성과 소수성의 향상을 위한 플라즈마 처리는 박막이용의 한 예에 불과합니다. 현재 KIST의 한승희 박사님 연구실에서 PSII를 통해 이러한 연구를 진행중입니다.


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