Sputtering UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating]

2010.06.01 23:11

이재덕 조회 수:21188 추천:132

안녕 하십니까. UBM장비로 SUS 시편 두께에 따라 박막 두께도 달라지는지.. 달라지면 어떻게 달라지는지 Ti로 코팅하고 있는데 챔버를 열었을시 상온 과 챔버내 온도 차로 인하여 생기는 문제점들과 BIAS-DC ARC 장비로 챔버내에 하드 아킹이 일어나는 원인이 어떤것들이 있는지 알고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61389
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73456
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105791
24 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31648
23 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 25151
22 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22080
» UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21188
20 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20553
19 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19800
18 물리적인 sputterting 18477
17 sputtering 18434
16 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18194
15 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 18121
14 sputter 16980
13 몇가지 질문있습니다 16646
12 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16112
11 Sputter 16108
10 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10698
9 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 4201
8 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2705
7 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1786
6 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1784
5 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1085

Boards


XE Login