Others Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
2017.01.10 21:48
안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.
제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.
제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다. 이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.
사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.
이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.
하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.
혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.
Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.
참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.
010-4188-1840
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92290 |
37 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43698 |
36 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34956 |
35 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30006 |
34 | Arcing | 23806 |
33 | plasma cleanning에 관하여.... | 20834 |
32 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20481 |
31 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
30 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
29 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
28 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
27 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
26 | 플라즈마 응용분야 | 17860 |
25 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17191 |
24 | 플라즈마 처리 | 16932 |
23 | nodule의 형성원인 | 16759 |
22 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
21 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
20 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11420 |
19 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
18 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |