번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56680
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
24 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. newfile 41024
23 Ground에 대하여 update 38995
22 Arcing [1] update 28281
21 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] update 26369
20 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? new 25537
19 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] update 24714
18 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. newfile 24394
17 Peak RF Voltage의 의미 update 22488
16 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] newfile 21040
15 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] updatefile 20277
14 석영이 사용되는 이유? [1] new 19910
13 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 update 19299
12 MFC update 19289
11 최적의 펌프는? update 18507
10 Faraday shielding & Screening effect update 18294
9 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. update 17256
8 반응기의 면적에 대한 질문 update 12783
7 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] new 9710
6 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] new 2108
5 고진공 만드는방법. [1] new 953
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