고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102243
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24585
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61240
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73332
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105561
24 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41653
23 Ground에 대하여 40064
22 Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] 28966
21 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [공정 과정 및 장치 상태] [2] 26849
20 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25708
19 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 25022
18 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24991
17 Peak RF Voltage의 의미 22837
16 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21501
15 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20633
14 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20442
13 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19466
12 MFC [Direct liquid injection] 19407
11 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18629
10 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18480
9 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17499
8 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12905
7 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입] [1] 10331
6 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load] [1] 2735
5 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 2562

Boards


XE Login