안녕하세요. 저는 화학생물공학부에서 석사과정중인 학생입니다.



다름이 아니라 저희 실험실에서 TEM 그리드 표면개질을 하는데 수소 플라즈마 처리를 하고 싶은데 저희가 갖고 있는 장비로 될지 여쭤보기 위해서 이렇게 글 올립니다.



현재 갖고 있는 플라즈마 장비는 PELCO의 easiGlow 라는 장비인데요, 저희는 그냥 따로 가스관을 연결하진 않고 지금까지는 그냥 공기를 써서 O2 플라즈마로만 썼었습니다.


그런데 저희가 갖고 있는 장비로 수소통에 regulator를 달아서 연결하면 수소 플라즈마가 혹시 가능할지 궁금해서 여쭤봅니다.


스펙은 다음과 같습니다.

Specifications of the PELCO easiGlow™ Glow Discharge system

Plasma Current0-30 mA
HV Power supply30W Continuous Rating
Glow Discharge Head PolarityUser Selectable positive or negative
Process PlatformØ75mm with recess for 25 x 75mm slide
Glow Discharge Platform Height Control1-25 mm
Preprocess Hold Timer0-14411 sec.
Process Timer0-900 sec.
Chamber SizeØ120 x 100mm H with sealed Delrin top plate (inside Ø106 x 90mm)
Process/Vent gas inlets2 each Ø6 mm barbed, individually user selectable for process, purge or vent
High Voltage Vacuum InterlocksDual hardware and software interlocked
Vacuum ControlPirani Gauge, ranging from atmosphere to 0.01 mbar
Working Vacuum Range1.1 - 0.20 mbar for optimal glow
System Control / Display3" Touch Panel with LED backlight and 5 function keys
Operation ModesAuto Programmed (4 user programmed protocols) Manual/Diagnostics
Data Logging CapabilitiesStep #, Vacuum (mbar), Current (mA), Voltage (V), and polarity, once per second
Instrument Size305 L x 292 D x 230mm H (12" x 11-1/2" x 9 ")
Weight6.26 kg (13.8 lbs.)
GD4 Pump (optional)337 L x 138 D x 244mm H (13.3" x 5.4" x 9.6 ")
Weight11 kg (24 lbs.)
Laboratory Footprint with optional pump381 W x 292 D x 330mm H (15" x 11-1/2" x 13 ")
Power Requirements120V 60Hz, 15A or 230V 50Hz, 10A Service
Instrument Power Rating100-240VAC 60/50Hz 60W Plus Pump, IEC Inlet
Optional Pump Power Rating120/230V 60/50Hz 370 W (1/2 hp)
Vacuum Pump Minimum requirements2.5 m3/hr, 41 l/m, 1.65 CFM
0.03 mbar Ultimate Vacuum
Vacuum Pump Power Outlet on Instrument8A max IEC Outlet
Vacuum InletKF 16 flange
Data Logging CapabilitiesStep #, Vacuum (mbar), Current (mA), Voltage (V), and polarity, once per second
Communication PortUSB Outlet

 


질문이 조금 게시판과 맞지 않은점 죄송합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76905
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20295
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57213
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68764
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92725
29 Plasma source type 79698
28 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23415
27 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21322
26 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... 19392
25 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16044
24 냉각수에 의한 Power Leak 14448
23 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9845
22 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8585
21 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6369
20 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6054
19 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4543
18 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3446
17 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3333
» 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2664
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2266
14 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1824
13 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1765
12 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1480
11 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1383
10 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1277

Boards


XE Login