Others ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
2020.02.11 14:31
안녕하십니까 교수님 저는 한양대학교에서 학부연구생으로 공부를 하고 있는 이창경입니다.
제가 플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는중에 플라즈마 소스에 대해서 여러가지 알아보았습니다.
그런데 요즘은 ICP 플라즈마 소스의 등장으로 ECR 플라즈마 소스를 잘 사용하지 않는다고 들었는데 그 이유를 정확히 찾지 못하다 교수님의 연구실 홈페이지를 알게 됐고 질문방에 답을 찾다가 찾지 못해서 이렇게 직접 글을 올리게 됐습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78047 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20850 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57738 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93636 |
30 | Plasma source type | 79772 |
29 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23496 |
28 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21341 |
27 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19432 |
26 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16075 |
25 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14458 |
24 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9860 |
23 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8610 |
22 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6399 |
21 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6196 |
20 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4775 |
19 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3516 |
18 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3364 |
17 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2785 |
» | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2381 |
15 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1928 |
14 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1829 |
13 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1577 |
12 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1458 |
11 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1305 |