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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62375
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57 wafer bias [1] 686
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55 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 677
54 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 667
53 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 651
52 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 642
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48 플라즈마 충격파 질문 [1] 624
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46 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 619
45 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 597
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43 Collisional mean free path 문의... [1] 553
42 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 528
41 교수님 질문이 있습니다. [1] 504
40 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 503
39 RF 전압과 압력의 영향? [1] 502
38 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 498

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