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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68682
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152 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5924
151 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5673
150 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5143
149 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4793
148 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4168
147 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3950
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145 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3740
144 Descum 관련 문의 사항. [1] 3717
143 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3556
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141 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3435
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139 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3370
138 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3283
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136 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
135 CVD 공정에서의 self bias [1] 3090
134 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2761

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