번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20043
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91537
121 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47739
120 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41176
119 Ground에 대하여 39266
118 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 35790
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116 Arcing [1] 28608
115 esc란? 28049
114 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27572
113 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27199
112 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26445
111 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26104
110 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25575
109 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24813
108 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24756
107 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24727
106 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24516
105 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23312
104 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22925
103 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22568
102 Peak RF Voltage의 의미 22561

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