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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62991
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105 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46200
104 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40181
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102 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34466
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100 esc란? 27517
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98 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26966
97 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26567
96 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25812
95 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25370
94 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25061
93 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24485
92 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24320
91 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24277
90 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23899
89 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23052
88 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22681
87 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22348
86 Peak RF Voltage의 의미 22102

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