번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2799
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14009
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49941
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61885
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80588
62 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9025
61 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7026
60 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6802
59 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6441
58 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6127
57 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5517
56 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5508
55 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5488
54 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5212
53 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4904
52 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4292
51 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3688
50 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3583
49 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2686
48 ESC Cooling gas 관련 [1] 2627
47 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2222
46 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2008
45 임피던스 매칭회로 [1] file 1980
44 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1931
43 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1846

Boards


XE Login