번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2800
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14011
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49942
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61886
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80590
42 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1793
41 Si Wafer Broken [2] 1720
40 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1720
39 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1681
38 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1674
37 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1642
36 chamber impedance [1] 1608
35 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1572
34 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1545
33 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1528
32 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1502
31 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1469
30 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1452
29 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1373
28 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1315
27 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1171
26 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1131
25 MATCHER 발열 문제 [3] 1086
24 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1068
23 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1015

Boards


XE Login