번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64546
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85158
49 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2236
48 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2224
47 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2136
46 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2085
45 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2049
44 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2010
43 Si Wafer Broken [2] 1976
42 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1874
41 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1786
40 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1777
39 chamber impedance [1] 1764
38 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1724
37 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1710
36 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1677
35 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1635
34 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1346
33 RF matcher와 particle 관계 [2] 1332
32 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1297
31 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1249
30 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1244
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