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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2224 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2136 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2085 |
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Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2049 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2010 |
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Si Wafer Broken
[2] | 1976 |
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1874 |
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PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 1786 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1777 |
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chamber impedance
[1] | 1764 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 1724 |
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 1710 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1677 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1635 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1346 |
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RF matcher와 particle 관계
[2] | 1332 |
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 1297 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1249 |
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Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1244 |