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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[330]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type]
[1] | 48901 |
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Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion]
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matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계]
[1] | 30040 |
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플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle]
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HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
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MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성]
[3] | 22817 |
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ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown]
[2] | 21490 |
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플라즈마 matching [Heating mechanism, matching]
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scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적]
[2] | 19470 |
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Virtual Matching [Impedance matching]
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matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1] | 12499 |
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생]
[1] | 10447 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정]
[4] | 9589 |
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ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성]
[1] | 7554 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화]
[2] | 6787 |
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성]
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달]
[1] | 5766 |
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Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor]
[3] | 4761 |
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임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching]
[1]  | 3330 |
