Chamber Impedance chamber impedance
2019.09.24 15:45
안녕하십니까? 교수님,
ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다.
알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요?
또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요?
답변을 부탁 드립니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] | 75416 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19150 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67545 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89325 |
| 14 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 27098 |
| 13 | Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] | 24681 |
| 12 | ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] | 24629 |
| 11 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 6692 |
| 10 | 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] | 5587 |
| 9 | Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] | 3313 |
| 8 | 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] | 3037 |
| 7 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2398 |
| 6 | CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] | 2093 |
| » | chamber impedance [1] | 1910 |
| 4 | 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] | 1550 |
| 3 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1278 |
| 2 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 729 |
| 1 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 456 |
미안합니다만 저희는 부품 및 설계 자료를 갖고 있지 않습니다. 장비사가 축적한 데이터가 될 것 같고, 아마도 회사 내에는 자료가 있을 것 같습니다. 부품과 조립 후의 장비 임피던스 또한 측정한 자료를 회사는 분명히 보유하고 있을 것으로 예상합니다. 그 자료를 바탕으로 부품 등의 구입 시 제조 및 제작 공정에 대해서도 설계가 관여할 근거를 갖게 될 것 같습니다.
혹시 장비 설계 및 부품의 정보에 대해서는 국책 연구기관에서 일부 자료를 갖고 있지 않을까요? 기계연/표준연/핵융합연구소-플라즈마기술센터/생산기술연구소 등에서도 제작 경험들이 많으시니 필요한 정보가 있을 수도 있겠습니다.