ESC 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
2013.06.13 15:05
안녕하세요.
저는 정전척 제조 회사에 근무하고 있는 서보경입니다.
정전척 관련하여 궁금한 것이 있어 이렇게 문의를 드리게 되었습니다.
자사 5.5세대 정전척 제품이 공정 진행 후 Gate 앞쪽 부위의 외각 He-hole 부위에 burning 현상이 많이 나타납니다.
이러한 현상은 glass를 chucking 하기 전에 이미 plasma 가 유입이 되어 이로 인하여 burning 현상이 나타나는 것으로 예상을
하고 있는데요. 그렇다면 이 현상에 대해 메카니즘이 어떻게 되는 것인지 궁금합니다.
도움을 주시면 정말 감사하겠습니다.
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추측하건대, gate 부분의 공간으로 plasma가 새어 들어갈 충분한 이유가 있어 보이고 이 경우라면 helium leak이 있는 hole 근방에 helium 플라즈마가 새어 들어온 플라즈마와 같이 생길 수 있습니다. 또한 bias를 쓰면 그 현상은 더 커질 수 있겠습니다. 특별히 chuch에 쌓인 하전 효과로 국부 방전이 일어났다고 보이진 않는데, 보다 자세한 이해는 도면을 보면 쉽게 이해할 수 있겠습니다.