CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]
2016.12.15 13:35
안녕하세요?
제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다.
http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou
위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.
감사합니다.
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CCP 방전은 전극 사이에 플라즈마 유전체가 놓여 있는 형태로 방전이 전극의 전기장에 의해 유지되는장치 를 포괄적으로 지칭하는 말이라도 이해하시고, 전극의 재료와 방전조건에 따라서 유전체를 강조하는 유전체 격벽 방전(DBD;dielectric barrier discharge)가 있고, 공정용CCP 장치등이 있습니다. CCP와DBD는 여러차례 소개가 되었으니 게시판의 내용을 참고하시기 바랍니다.