안녕하십니까

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.

고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.

(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이

소손되는것 같습니다.

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103326
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
554 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9857
553 대기압 플라즈마에 대해서 9807
552 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9799
551 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9660
550 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9637
549 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9567
548 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9481
547 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9443
546 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9340
545 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9205
544 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9156
543 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9057
542 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8949
541 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8835
540 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8749
539 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8651
538 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 8417
537 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8384
536 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8374
535 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 8305

Boards


XE Login