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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20138
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57144
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68663
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92107
447 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4153
446 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4128
445 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3991
444 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3977
443 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3961
442 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3944
441 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3897
440 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3880
439 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3784
438 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3719
437 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3708
436 Descum 관련 문의 사항. [1] 3708
435 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3676
434 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3657
433 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3638
432 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3597
431 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3556
430 ESC Cooling gas 관련 [1] 3518
429 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3515
428 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3506

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