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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
443 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
442 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4121
441 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3977
440 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3968
439 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3949
438 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3914
437 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3858
436 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3857
435 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3761
434 Descum 관련 문의 사항. [1] 3698
433 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3672
432 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3658
431 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3637
430 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3623
429 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3615
428 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3558
427 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3552
426 ESC Cooling gas 관련 [1] 3514
425 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3498
424 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3490

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