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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85101
358 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3179
357 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3176
356 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3109
355 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3080
354 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3054
353 ESC Cooling gas 관련 [1] 3036
352 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3030
351 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3026
350 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2956
349 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2908
348 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2830
347 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2813
346 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2798
345 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2791
344 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2780
343 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2768
342 Descum 관련 문의 사항. [1] 2757
341 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2747
340 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 2699
339 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2668

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