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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5573
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84148
331 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2538
330 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2499
329 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2475
328 PR wafer seasoning [1] 2443
327 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2440
326 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2415
325 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2384
324 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2275
323 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2240
322 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2206
321 임피던스 매칭회로 [1] file 2197
320 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2189
319 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2183
318 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2177
317 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2151
316 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2146
315 Plasma etcher particle 원인 [1] 2141
314 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2140
313 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2122
312 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2118

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