번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2931
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14140
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50061
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62375
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80763
620 self bias (rf 전압 강하) 25767
619 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25753
618 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25339
617 충돌단면적에 관하여 [2] 25286
616 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25004
615 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24488
614 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24470
613 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24356
612 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24290
611 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24253
610 플라즈마가 불안정한대요.. 24250
609 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24047
608 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23861
607 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23651
606 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 23560
605 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23514
604 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23146
603 플라즈마 쉬스 23112
602 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23028
601 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 22982

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