Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76738 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92284 |
89 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
88 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
87 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 484 |
86 | plasma striation 관련 문의 [1] | 474 |
85 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
84 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 471 |
83 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
82 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
81 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 457 |
80 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 455 |
79 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 450 |
78 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 447 |
77 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 446 |
76 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 445 |
75 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 437 |
74 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 436 |
73 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 434 |
72 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
71 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 426 |
70 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 423 |