안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77553
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20625
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57572
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69063
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93237
116 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 529
115 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 528
114 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 525
113 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 517
112 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 517
111 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 515
110 plasma striation 관련 문의 [1] file 510
109 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 509
» (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 495
107 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 490
106 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 490
105 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 486
104 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 486
103 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 486
102 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 485
101 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 484
100 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 482
99 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 482
98 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 481
97 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 479

Boards


XE Login