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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68783
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20 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124
19 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 123
18 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 100
17 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
16 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 90
15 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 89
14 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 83
13 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 82
12 플라즈마 설비에 대한 질문 81
11 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
10 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 73
9 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 69
8 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 66
7 플라즈마 식각 커스핑 식각량 37
6 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 35
5 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 26
4 Druyvesteyn Distribution 24
3 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 23
2 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
1 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 7

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