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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75778
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19464
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56676
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68054
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90353
46 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1101
45 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1089
44 플라즈마 챔버 [2] 1085
43 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1073
42 공정플라즈마 [1] 1033
41 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 979
40 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 976
39 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 974
38 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 922
37 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 918
36 Plasma Generator 관련해서요. [1] 887
35 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 871
34 anode sheath 질문드립니다. [1] 866
33 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 862
32 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 858
31 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 847
30 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 846
29 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 815
28 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 787
27 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 767
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