Collision MFP에 대해서..

2012.04.12 08:57

SPL 조회 수:7825

안녕하세요 조성운입니다.

 plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.

플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,

혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76749
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92307
154 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6184
153 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5927
152 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5679
151 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5154
150 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4814
149 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4183
148 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3961
147 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3780
146 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3757
145 Descum 관련 문의 사항. [1] 3724
144 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
143 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3450
142 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
141 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3416
140 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3386
139 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3307
138 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3205
137 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3166
136 CVD 공정에서의 self bias [1] 3106
135 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2768

Boards


XE Login