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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor
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플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
[1] | 958 |
217 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
[1] | 949 |
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 943 |
215 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법
[1] | 940 |
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플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다.
[1] | 936 |
213 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 929 |
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Self bias 내용 질문입니다.
[1] | 926 |
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Plasma Generator 관련해서요.
[1] | 922 |
210 |
RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계
[2] | 912 |
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연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 898 |
208 |
문의 드립니다.
[1] | 896 |
207 |
Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
[1] | 895 |
206 |
RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
[1] | 892 |
205 |
ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다.
[1] | 886 |
204 |
플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
[1] | 886 |
203 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 881 |
202 |
RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
[1] | 875 |
201 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
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200 |
RF 주파수에 따른 차이점
[1] | 867 |