Plasma Source H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
2020.06.09 18:30
안녕하세요 플라즈마 소스개발을 하고 있는 김상규라고 합니다.
전자기장 시뮬레이션을 통해 ICP Source 를 개발 중에 있습니다만 이해가 되지 않는 부분이 있어 질문 드립니다.
조건 : 1000mm X 1000mm chamber , process gap 250mm , icp source , H-field 관측 , Source only (bias x)
현상 : 상부 Antenna 근처에서 측정(antenna로 부터 30mm) Map 이 center high 인데 substrate (substrate 표면으로 부터 5mm) 로 내려오 면 center 가 low 가 됨. (stage 에 절연층을 쌓아도 비슷함)
질문 : side, 4corner 가 low 로 되는 것은 챔버 벽면으로 electron 이 빠져나가면서 그럴수 있다고 생각 됩니다만
왜 Chamber 벽면에서 가장 먼 가장자리(substrate center position) 의 field 가 약해지는 것 인지 궁금합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [144] | 5911 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17362 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53184 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65117 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85209 |
39 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 355 |
38 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 352 |
37 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 351 |
36 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 350 |
35 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 349 |
34 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 335 |
33 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
![]() | 330 |
32 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 329 |
31 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 319 |
» | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 317 |
29 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1] ![]() | 317 |
28 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 307 |
27 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 303 |
26 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 285 |
25 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 282 |
24 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 271 |
23 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 270 |
22 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 264 |
21 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 252 |
20 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] ![]() | 247 |