Others Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
2021.01.19 13:29
안녕하세요, 저는 대학원에서 이제 막 스퍼터링 관련 연구를 시작하게 된 학생입니다.
작은 진공 챔버만 있고 아무것도 없는 상태에서 가장 기본적인 스퍼터링 시스템을 만들고자 하는데요, Fluoride (LaF3, YF3 등)를 스퍼터링을 할 때에 안전에 대한 조언을 부탁드리고자 글을 남깁니다. 스퍼터링 시스템을 동작시키는 여러 프로시져 등은 여러군데서 찾아볼 수 있지만, 그 이전에, 실험 환경의 안전 시스템은 어느정도로 구축해야될 지 가늠이 서질 않습니다.
예를 들어 Ar 가스를 사용하여 약 지름이 5cm인 YF3 원형 타겟을 스퍼터한다고 가정을 하면,
1. 타겟으로부터 F와 Yttrium 성분이 경우에 따라 어떤 형태로 떨어져나올 수 있는지, (일반적으로 Ar양이온이 충돌하여 YF3화합물의 형태로 그대로 떼어낼 것 같으나, 만약 어떠한 이유로 F가 별도로 분리되는? 그런경우도 있을 수 있을까요?)
2. 그 외 어떠한 이유로 F성분이 챔버 Leak이나 펌프 배기 등의 문제로 밖으로 샐 경우에 인체에 해를 심각하게 가할 정도가 될 수도 있는 지,
위 2가지와 관련해서 전문가의 조언을 좀 구할 수 있을까요? 아무래도 Fluorine성분이 있다보니 마음에 걸립니다.
관련 안전 담당부서와 논의를 할 것이긴 합니다만 전문성이 부족할 수도 있을 것을 대비해서 조언을 부탁드립니다. 참고로, 연구실에는 챔버 1개용으로 충분한 Fumehood와 일반적인 반도체회사에서 사용하는 호흡기와 필터정도는 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92291 |
89 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
88 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
87 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 484 |
86 | plasma striation 관련 문의 [1] | 474 |
85 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
84 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 471 |
83 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
82 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
81 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 458 |
» | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 455 |
79 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 450 |
78 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 447 |
77 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 446 |
76 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 445 |
75 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 437 |
74 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 436 |
73 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 434 |
72 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
71 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 426 |
70 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 423 |