번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68752
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
737 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24359
736 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24356
735 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24186
734 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24123
733 self Bias voltage 24080
732 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23988
731 플라즈마 쉬스 23951
730 Arcing 23844
729 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23774
728 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23458
727 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23411
726 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23346
725 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23269
724 DC glow discharge 23267
723 고온플라즈마와 저온플라즈마 23148
722 No. of antenna coil turns for ICP 23109
721 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23098
720 CCP/ICP , E/H mode 23048
719 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22950
718 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22857

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