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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64953
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111023
56 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 633
55 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 614
54 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 608
53 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 607
52 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 607
51 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 607
50 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 603
49 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 602
48 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 600
47 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 600
46 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 595
45 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 591
44 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 579
43 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 578
42 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 566
41 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 565
40 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 559
39 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 558
38 PEALD 챔버 세정법 [1] 557
37 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 552
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